第16章 研发进度(1/2)

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    不知不觉中,时光飞逝,春节眼看着临近了。

    徐卫国今年肯定是没办法回家过年了,只好写了一封信寄回家,免得家里人担心。当然,他在干什麽肯定是不能说的,只说自己要在学校多学点东西。

    值得一提的是,徐卫国前不久已经拿到了京大的毕业证,并正式成为了科学院物理所的一员,果然是三级研究员。

    月底,他还拿到了自己的第一笔工资,一百七十五元。

    拿出一百块还给了张希德,剩下的钱他给自己买了几身内外衣服,转眼又花了个乾净。

    好在他吃住都有公家管着,平时也基本不花什麽钱。

    除夕这天,徐卫国给团队所有人放了两天假,没日没夜的忙活了一个多月,春节再不让放松一下也实在说不过去。

    毕竟,这项目并没有一个期限限制,没必要赶那麽急。

    左右也是无事,徐卫国乾脆又去了周家,借宿两天,算是把这个年给过了。

    ……

    过完年,徐卫国又带领团队投入了紧张的研发过程中。

    三月初,各项研发工作开始进入收获期。

    第一个完成的分项目是光刻胶,在进行大量实验后,团队先是成功制取出了苯乙烯-丁二烯共聚物(SBR),这是第一代光刻胶的主要成分。

    仅仅一周后,他们又制取出甲基丙烯酸甲酯作为交联剂,解决了光刻胶易变黄的问题。至此,第一代光刻胶的研发工作正式完成。

    第二个完成的分项目是扩散炉,它用于扩散工艺,作用是将杂质元素引入矽片以形成PN结或电阻等元件。

    随后,氧化设备,蒸发台丶外延生长设备丶研磨抛光设备等项目也相继完成研发。

    到五月时,所有项目就只剩下光刻机还没有完成了。

    而光刻机这个大系统中,所有分系统其实都已经做出来了,问题卡在精度上。

    如果现有分系统直接组装起来投入使用,光刻机的定位精度将低于五微米,曝光图形精度(线宽)则在十微米级别,这个水平远远达不到徐卫国的预期,距离历史上第一台商业化光刻机精度也差的太远。

    徐卫国当然是不甘心拿个次品出来的,他宁愿把研发时间拉长,继续精雕细琢。

    这一拖,就拖到了七月。

    这天上午,晴空万里,徐卫国照例待在实验室,亲自参与光刻机的调试改进。

    正忙着,实验室门口突然来人了。

    却是所长严纪慈。

    此时的徐卫国正坐在显微镜前观察刚制作出来的掩模版,严纪慈并未打扰他,只是在一旁站着观看。
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