第16章 研发进度(2/2)
「所长！您什麽时候来的。」
严纪慈笑道：「我也刚来没多久。……你们这确实是凉快啊！我都不想走了。」
徐卫国笑了笑，他们这是恒温实验室，安装了大功率空调的，倒不是搞特殊，而是因为温度会影响设备精度，不得不装。
不过在这炎炎夏日，在空调房工作也确实是一种享受，大家都不大愿意出门。
「您找来是有什麽事吗？」徐卫国。
严纪慈点点头：「我来就是想问你，光刻机研发什麽时候能完成？……离十月一就剩不到三个月了，我想最好是能在那之前造出第一款集成电路，为国庆献礼。当然，如果来不及的话就当我没说，你们还是按你们的进度来。」
徐卫国道：「应该是来得及。其实吧，光刻机我们已经造出来了，问题是精度不及预期，现在我正在改进中。」
「精度问题……你有解决方案吗？」
「有。不瞒您，我脑子里有的是办法，奈何缺了太多设备，现在只能用笨办法慢慢摸索。」
这倒是大实话，比如光学系统精度，想提高离不开干涉仪辅助，但这东西还在研发，想用上不知要到哪年月了。
再比如掩模版的制作精度，没有电子束光刻，就很难制作精细图案。雷射直写倒是一个解决方案，但红宝石雷射器同样也刚开始研发。
「具体说说你的笨办法。」严纪慈饶有兴致的问道。他自己本身就是光学研究领域的专家，加上一直在关注徐卫国的研发进展，在光刻机上算是内行人。
徐卫国点点头，说道:「就比如这掩模版，我现在尝试用分步重复曝光的办法，也就是先制作大尺寸母版，再用光学微缩复制到掩模版上。试验结果还行，精度提高了不少。
再比如对准精度，手动对准精度有限，我自己设计了一套机械-光学混合对准系统，现在还没造出来，但估计也就这几天了。」
严纪慈：「听起来是很不错的解决办法。……呵，我本想帮你参谋参谋，提一些建议，现在看是不用了。」
徐卫国：「让您费心了。」
「嗐，我费什麽心啊。技术上我也帮不上什麽忙，都是瞎操心。」
严纪慈看着徐卫国，突然感叹道：「都说隔行如隔山，科研上更是如此。我都好奇，你这脑子是怎麽长得，怎麽就什麽都懂呢?」
徐卫国咧嘴笑道：「我是天才嘛，不能以常理度之。」
严纪慈哈哈笑了起来，道：「说的没错，不能以常理度之。……行了，你继续忙，我先回去了。」
「您慢走！」